На производстве установки для создания вакуума используются для разных целей. Это может быть испытание готовых образцов изделий, предварительная или промежуточная обработка в технологическом процессе. Вакуумная техника включает в себя не только камеры повышенной прочности, но и специальные насосы, пульты управления, измерительные приборы, емкости и соединительные шланги.
Особенности конструкции
Корпуса вакуумных камер, а также дополнительные люки, крышки и смотровые отводы изготавливаются из высокопрочной нержавеющей стали. Как правило, материал имеет немагнитные свойства. Внешняя поверхность имеет полировку, полученную электрохимической или дробеструйной обработкой.
Форма емкостей может быть сферической, кубической, цилиндрической или сложной, в зависимости от выполняемых задач. Для контроля процессов, происходящих в камере, она снабжается специальными прозрачными смотровыми окнами. В отдельных случаях корпус может быть полностью прозрачным. В этом случае в качестве основного материала используется акрил.
Основные характеристики
Стандартное давление, достигаемое в обычных устройствах – 10-7…10-8 торр (мм у ртутного столба). Этого, как правило, достаточно для большинства задач, решаемых с помощью вакуума. Условия низкого давления используются в научных целях, для проведения различных экспериментов, для испытаний элементов космической техники.
Сверхвысоковакуумная камера способна выдержать давление 10-9…10-11 торр. Такие условия требуются, например, в производстве микрокристаллов или в установках для экспериментов с микрочастицами.
Аппараты низкого давления (вакуума) выпускают многие отечественные и зарубежные фирмы. Наиболее известны российские компании «УниверсалПрибор», «Актан Вакуум», «ВСЭ». Из зарубежных компаний можно назвать CBVAC, TrinosLine, ErstVak и другие.